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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
So, Byung-Soo (Department of Materials Science & Engineering Hong-Ik University) Hwang, Jin-Ha (Department of Materials Science & Engineering Hong-Ik University)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제6권 제1호
발행연도
2007.1
수록면
65 - 69 (5page)

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A design of experiments was applied in order to investigate the effect of processing variables in UV irradiation on the electrical/optical properties in indium-zinc oxide thin films, The processing variables, equivalently input variables are listed as UV irradiation time, oxygen flow rate, and chamber pressure. The statistical significance of Ultra Violet (UV) treatment was confirmed using a paired-t test. The full factorial $2^3$ design was employed to determine significant main and interaction effects in UV irradiation process. The chamber pressure and the interaction between UV irradiation time and $O_2$ flow rate were found to be statistically significant at the significance level of 0.1. Furthermore, the optimized approach was proposed in achieving the improved conductivity after UV irradiation.
#Indium-zinc oxides #UV irradiation #Electrical/Optical Properties #Design of experiments

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