Dry Etching of Au Films Using CF4 and O2 Plasma

이종수 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Plasma etching behavior of RE-Si-Al-O glass (RE: Y, La, Gd)

이정기 ,  황성진 ,  이성민 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

The Use of Inductively Coupled CF4/Ar Plasma to Improve the Etch Rate of ZrO2 Thin Films

김한수 ,  김창일 ,  우종창 외 1명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2013 .01

나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술

양경채 ,  박성우 ,  신태호 외 1명

한국표면공학회지

2015 .12

MECHANISM OF ETCHING OF SILICON NITRIDE IN CF4-O2 PLASMA

V. P ,  emachand ,  an 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Surface Analysis of Fluorine-Plasma Etched Y-Si-Al-O-N Oxynitride Glasses

Lee ,  Jung-Ki ,  Hwang 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

Plasma and Reactive Ion Etching

전영진

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

다층 RIE Electodes를 이용한 아크릴의 $O_2/N_2$ Plasma Etching

김재권 ,  박연현 ,  백인규 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Etching Effect of Solution Plasma on Gold Nanoparticles

Junko Hieda ,  Takahi ,  o Ishizaki 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Characteristics of Ag Etching using Inductively Coupled Halogen-based Plasmas

Pa ,  k ,  Sang-Duk 외 10명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2002 .01

Understanding of my etching of polycarbonate based on $O_2$ plasmas

주영우 ,  박연현 ,  노호섭 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

The study of silicon etching using the high density hollow cathode plasma system

Yoo ,  Jin-Soo ,  Lee 외 7명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

실험계획법에 의한 $CF_4/O_2$ 플라즈마 에칭공정의 최적화에 관한 연구

최만성 ,  김광선

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01

플라즈마 식각 조건이 게이트 산화막의 손상에 미치는 영향

김정호 ,  이석현 ,  신기수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

플라즈마 식각 조건이 게이트 산화막의 손상에 미치는 영향 ( Effects of Plasma Etching Parameter on Gate Oxide Damage during Plasma Etching )

김종호 ,  이석현 ,  신기수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

Dependence of cation ratio in Oxynitride Glasses on the plasma etching rate

Lee ,  Jung-Ki ,  Hwang 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

The Dry Etching of TiN Thin Films Using Inductively Coupled CF4/Ar Plasma

우종창 ,  최창욱 ,  주영희 외 2명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2013 .01

CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구

황기웅 ,  이종덕 ,  김성철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1986 .12