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화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )
전자공학회지
1988 .08
TiSi2의 열적 불안전성에 대한 이론적 고찰 및 개선 방안 ( The theoretical study and improvement on agglomeration of TiSi2 )
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )
대한전자공학회 학술대회
1990 .01
TiI₄에 의한 Stainless강의 Ti증착속도에 관한 연구
한국표면공학회지
1985 .03
ALE법으로 증착된 ZnO 박막의 PL특성
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
TiSi2 박막의 Agglomration 거동에 미치는 Si기판 의존성
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
초고집적 소자를 위한 화학증착 알루미늄 박막의 증착 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
초청정 Si기판에 동시 증착된 $TiSi_2$ 의 상전이 및 형성
한국재료학회지
1994 .01
C49 $TiSi_2$상의 에피구조 및 상안정성
한국재료학회지
1994 .01
비정질 실리콘 박막 증착용 고밀도 플라즈마 화학 증착장비
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2003 .01
반응기판의 회전 속도에 따른 CVD 반응기 내의 유동 특성과 증착률에 관한 수치적 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2007 .04
새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )
대한전자공학회 학술대회
1989 .07
Microwave Plasma를 이용하여 증착한 diamond 박막의 증착변수에 따른 증착특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
Hot Wire CVD법에 의한 미세결정 실리콘 박막의 저온 증착
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
Composite target으로 증착된 Ti-silicide의 형성에 관한 연구(I)
한국재료학회지
1991 .01
CVD-Cu film의 특성에 증착온도가 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
화학증착 알루미늄 박막의 표면 상태 개선에 관한 연구
한국표면공학회지
1993 .06
Zr 원소 첨가에 따른 $TiSi_2$ 응집화 현상의 억제
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
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