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이용수
초록
1. 서론
2. 해석방법
3. 결론
감사의 글
참고문헌
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화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )
전자공학회지
1988 .08
회전식 화학증착 장치의 높은 증착 효율을 위한 최적 형상 전산해석연구
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2013 .10
플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )
대한전자공학회 학술대회
1990 .01
Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
유도 결합 플라즈마 화학 기상 증착법에 의해 제조된 carbon nitride 박막의 기판 r.f. bias 효과에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .10
고분자 플라스틱 기판과 유리 기판위에 증착한 알류미늄 박막 특성 분석
전자공학회논문지-IE
2002 .06
CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
ALE법으로 증착된 ZnO 박막의 PL특성
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
증착 균일도를 고려한 회전형 CVD 장치의 최적 운전조건 탐색
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2012 .11
스퍼터링 전력 변화에 따른 Al thin film의 특성 분석
한국산학기술학회 학술대회논문집
2009 .05
PECVD를 이용한 ZnO박막 증착시 증착 변수가 증착속도 및 결정 구조에 미치는 영향
한국재료학회지
1994 .01
회전원판형 CVD 장치의 최적운전 조건에 대한 수치 연구
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2012 .05
초고집적 소자를 위한 화학증착 알루미늄 박막의 증착 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
다양한 기판 위에 증착된 금 박막으로부터의 나노입자 형성 거동 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
화학증착법으로 제조한 실리카/알루미나 복합막의 기체분리특성과 stability에 관한 연구
한국막학회 총회 및 학술발표회
1997 .01
증착 공정에 따른 알루미늄 박막의 제조와 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .11
Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 $RuO_2$ 박막의 특성분석
한국재료학회지
1995 .01
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