Laser CVD에 의한 SiO₂막의 형성과 제특성

김용우 ,  김천섭 ,  김상욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

실리콘窒化膜의 氣相成長과 그 電氣的 特性

成英權 ,  閔南基 ,  金承培

전기의세계

1979 .09

레이저를 이용한 실리콘카바이드 화학증착에 관한 연구

이영림 ,  유재은

대한기계학회 춘추학술대회

2002 .05

Low-Temperature Chemical-Vapor Deposition - A NOVEL THIN-FILM TRANSISTOR PROCESS -

Masakiyo Matsumu ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

SILICON CARBIDE THIN FILMS SYNTHESIZED BY PULSED YAG LASER DEPOSITION

Suda ,  Y. ,  Kawasaki 외 16명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Si(CH₃)₄로부터 SiC의 레이저 화학증착에 관한 연구

이영림

대한기계학회 논문집 B권

2002 .09

Deposition of Silicon Films at Low Temperature with Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ( RPECVD )

Sung Woo Lee ,  Shi Woo Rhee

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

[세션초청논문] Optimization of growth rate for Si in a planetary CVD reactor

Zahe ,  Ramadan ,  Ik-Tae Im 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

Chemical resistance characteristics of fluoride-treated silicon carbide

김종환 ,  김형일 ,  유종민

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2015 .04

Growth of 3C-SiC ( 111 ) Thin Films by Rapid Thermal Chemical Vapor Deposition

Y. H. Seo ,  K. S. Nahm ,  H. W. Shim 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

TaCl₅-C₃-H₆-H₂ 계에서 TaC CVD 공정의 열역학 해석

김현미 ,  최균 ,  심광보 외 2명

한국재료학회지

2018 .01

New vapor-phase deposited polymer films by initiated chemical vapor deposition and their bio-device applications

임성갑

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .10

Deposition of epitaxial SiC film using thermal MOCVD method

남상훈 ,  현재성 ,  지해근 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

A NEW CLASS OF SINGLE SOURCES FOR THE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF HETERO-METALLIC OXIDES

Koh ,  W. ,  Ku 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

실리콘 카바이드 박막 제조를 위한 상압 화학증착 공정의 수치모사화 연구 ( Modelling and Simulation Study on Chemical Vapor Deposition Process for Silicon Carbide Film )

고준호 ,  우성일

대한전자공학회 학술대회

1988 .01

Si 모재 위의 Si_(x)Ge_(1-x) 박막에서 부정합 전위와 임계두께에 관한 연구 ( Study on Misfit Dislocations and Critical Thickness in a Si_(x)Ge_(1-x) Epitaxial Film on a Si Substrate )

신정훈 ,  김재현 ,  엄윤용

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .06

탄화규소 화학기상증착 공정에서 CFD를 이용한 균일도 향상 연구

최균 ,  서진원 ,  김준우

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2014 .05

액체수송 유기금속 화학증착법 (LDS-MOCVD)에 의한 $Pb(Zr_xTi_{1-x})O_3$ 박막의 저온 ($450^{\circ}C$-$500^{\circ}C$) 증착 및 특성분석

정시화 ,  김혜령 ,  조금석 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01