수소 및 암모니아 Remote Plasma MOCVD 증착법에 의한 Tantalum Nitride 박막의 특성

한창희 ,  백수현 ,  노경봉 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Annealing and Post Heat Treatment Effects of Remote Plasma MOCVD Titanium Barrier Metals

장영학 ,  원석준 ,  김종욱 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

MOCVD법으로 증착한$TiO_2$박막의 단차피복성

노상용 ,  오진호 ,  황철성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Plasma Enhancd MOCVD법에 의해 Pt/Ti/$SiO_2$/Si 위에 제조된 $Ba_{x}Sr_{1-x}TiO_3$박막의 전기적 특성에 관한 연구

이재창 ,  신웅철 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

MOCVD Growth of Group-III Nitrides for High Quality Photonic Devices

S. P. DenBaa ,  s ,  P. Kozodoy 외 8명

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

포스트 플라즈마를 이용한 질화의 질화층 형성에 미치는 전처리의 영향에 대한 연구

문경일 ,  변상모 ,  조용기 외 2명

열처리공학회지

2005 .01

MOCVD법에 의한 PZT 박막의 증착 및 전기적 특성에 관한 연구

신주철 ,  이종명 ,  홍석경 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

MOCVD로 성장한 ZnO 박막의 $O_2$ 유량 변화에 따른 광특성과 미세구조 분석

한원석 ,  공보현 ,  김동찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

DC-Pulse Plasma와 Thermal MOCVD 방법으로 증착된 TiN 박막의 특성에 관한 연구

박용균 ,  이영섭 ,  정수종 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

MOCVD Titanium Nitride ( TiN ) Barrier Layer for Highly Reliable Aluminium ( Al ) Based Multilevel Metallization

M. S. Chae ,  B. H. Jung ,  S. H. Yu

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구

최정환 ,  박상기 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

MOCVD법을 이용한 SnO₂(:F) 박막의 제조

이상운 ,  배정운 ,  송국현 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

MOCVD법으로 다양한 기판위에 성장한 ZnO 박막의 광학적, 구조적 특성 평가

공보현 ,  김동찬 ,  한원석 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Plasma-Enhanced MOCVD법에 의해 MOCVD-Pt 위에 제조된 강 유전체 Sr${Bi}_{2}{Ta}_{2}{O}_{9}$ 박막의 특성

성낙진 ,  최은석 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Mocvd 에 의한 신기능소자 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

MOCVD에 의한 신기능소자 , 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

MOCVD법으로 버퍼층을 활용한 ZnO 박막 제조

박재영 ,  이동주 ,  윤영수 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

강유전 capacitor용 MOCVD amorphous TaN 박막의 확산방지막 특성

한창희 ,  백수현 ,  조광남 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

MOCVD 법에 의해 증착된 TiO2 박막의 결정구조 및 광학적 특성 ( Structural and Optical Properties of TiO2 Films Deposited by MOCVD )

장동훈 ,  강성준 ,  윤영섭

전자공학회논문지-D

1997 .06