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UV / ozone을 이용한 실리콘 표면의 Dry Cleaning Process 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
세정평가
공기청정기술
1994 .01
실리콘 웨이퍼 세정을 위한 오존의 거동에 관한 연구
반도체및디스플레이장비학회지
2005 .01
금속불순물 제거를 위한 UV/ozone과 HF 세정연구
한국재료학회지
1996 .01
극저온 $CO_2$를 이용한 세정장치 개발
발명특허
2001 .01
초음파 세정 및 건조기술
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2004 .01
마이크로버블을 이용한 세정장치 개발 및 세정성능 강화
한국방사성폐기물학회 학술대회
2012 .01
세정공정에서의 오존층파괴와 대체세정
한국표면공학회지
1998 .12
대체 세정장치의 경제성 분석
전자진흥
1993 .01
레이저 세정의 세정메카니즘 규명을 위한 실험적 연구
대한환경공학회 학술발표논문집
2007 .12
초음파세정기술
공기청정기술
1994 .01
오존/자외선에 의한 실리콘 웨이퍼의 정밀세정에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2004 .07
Excimer Laser를 이용한 건식 세정에 있어 세정 효율의 정량적 평가
대한환경공학회 학술발표논문집
2007 .12
반도체 세정기술
공기청정기술
1994 .01
방전간극변화가 오존생성특성에 미치는 영향
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
2001 .11
Nano-level Device 제조를 위한 신 메탈 전극 세정에 관한 연구
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2003 .01
초순수수내에서의 오존의 거동 및 세정 효과
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
실리콘 기판 습식 세정에 따른 a-Si:H/c-Si 계면 및 이종접합 태양전지 특성 분석
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2009 .06
초전도 박막 제작을 위한 산화 시스템 구축 및 평가
전기전자재료학회논문지
2003 .01
증기발생기 세정로봇 분사장치 노즐 변경 및 배열에 따른 세정 효과
한국방사성폐기물학회 학술대회
2016 .01
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