초순수수내에서의 오존의 거동 및 세정 효과

한정훈; 박진구

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 한정훈 (한양대학교 금속재료공학과) 박진구 (한양대학교 금속재료공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1996년도 재료학회 추계학술발표회

발행연도: 1996.1

수록면: 154 - 154 (1page)

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한정훈

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주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 5 이용수 37

박진구

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논문수 93 이용수 356

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