특허정보분석보고서-반도체용세정기술(3)

한국발명진흥회

발명특허

2008 .01

세정평가

안강호

공기청정기술

1994 .01

반도체 세정 공정평가를 위한 저비용 나노입자 오염장치 개발

손일룡 ,  김태곤 ,  유영삼 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

초음파 세정 및 건조기술

이강원 ,  윤의중 ,  김철호 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

[반도체생산자동화 연구회] 반도체ㆍFPD 세정공정 및 기술 동향

김두형 ,  황경현

제어로봇시스템학회지

2004 .01

초음파세정기술

이춘삼

공기청정기술

1994 .01

반도체 기술

이진효

전자공학회지

1987 .04

반도체 기술

유영욱

정보화사회

1989 .01

오존 기능수를 이용한 저소비형 반도체 세정공정시스템

손영수

기계저널

2007 .04

대체 세정장치의 경제성 분석

노경호

전자진흥

1993 .01

마이크로버블을 이용한 세정장치 개발 및 세정성능 강화

전종선 ,  추주영 ,  이상헌 외 3명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2012 .01

레이저 세정의 세정메카니즘 규명을 위한 실험적 연구

송재동 ,  백지영 ,  이명화 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

2007 .12

플라즈마 세정기술 현황

남기석 ,  김종국 ,  이상로

기계와 재료

2000 .01

대기압 플라즈마를 이용한 반도체/디스플레이 부품의 세정기술

조중희

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

반도체에 관하여

염곡훈

전자공학회지

1965 .07

식품공업에 있어서의 세정기술

허종화 ,  문준식

공기청정기술

1996 .01

자외선 세정기술의 응용

문세호

조명·전기설비

2005 .10

3차원 반도체 집적 기술

한태희 ,  정기석

전자공학회지

2009 .09

Excimer Laser를 이용한 건식 세정에 있어 세정 효율의 정량적 평가

백지영 ,  송재동 ,  이명화 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

2007 .12

반도체 기술 동향

편광의 ,  박형무

전자공학회지

1991 .12