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한국신재생에너지학회 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 한국신재생에너지학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2009.6
수록면
168 - 168 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2013

50 ㎛ 기판을 이용한 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지 제조 및 특성 분석
송준용 ,  최장훈 ,  정대영 외 3명 한국재료학회지 2013.01 학술저널

2010

기판 세정특성에 따른 표면 패시배이션 및 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지 특성변화 분석
송준용 ,  정대영 ,  김찬석 외 5명 한국재료학회지 2010.01 학술저널

2009

실리콘 기판 습식 세정에 따른 a-Si:H/c-Si 계면 및 이종접합 태양전지 특성 분석
송준용 ,  정대영 ,  김찬석 외 7명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2009.06 학술대회자료

초록· 키워드

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고효율 실리콘 이종접합 태양전지 제작을 위한 요소기술 중 a-Si:H/c-Si 간의 계면 안정화는 태양전지 효율에 중요한 역할을 한다. 본 연구에서는 n-type 결정질 실리콘 기판을 사용하여, 소수전하들의 재결합을 방지하고, 계면 안정화를 실행하는 방안으로 실리콘 기판 습식 세정을 수행하였다. 반도체 공정에서 일반적으로 알려진 RCA 세정기법에 HF 세정을 마지막공정으로 추가하여 자연 산화막과 기타 불순물을 더욱 효과적으로 제거할 수 있도록 실험을 진행하였다. 마지막 공정으로 추 ... 전체 초록 보기
#이종접합 #실리콘 태양전지 #계면 #습식화학세정 #소수반송자 수명 #Heterojunction #Silicon Solar Cell #Interface #Wet chemical cleaning #Minority carrier life time

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UN-ozone을 이용한 실리콘 표면 세정 효과의 연구
이경우 ,  조용범 ,  천희곤 외 6명 대한전자공학회 학술대회 1994 .01

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