단결정 실리콘 기판에 이온주입된 불순물이 $TaSi_2$형성에 미치는 영향

조현춘 ,  최진석 ,  고철기 외 1명

한국재료학회지

1991 .01

Composite target으로 sputter시켜 형성된 TaSi2의 특성 ( The properties of TaSi2 formed by Stuttering from the composite target )

조현춘 ,  양희준 ,  최진석 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

불순물을 이온주입시킨 실리콘 기판위에 형성된 TaSi2의 특성 ( Characteristics of TaSi2 Formed on the Si Wafer Implanted Dopant Ions )

조현춘 ,  최진석 ,  김동원 외 1명

전자공학회논문지-A

1991 .04

불순물을 이온주입시킨 실리콘 기판위에 형성된 TaSi2의 특성 ( Characteristics of TaSi2 Formed on the Si Wafer Implanted Dopant Ions )

조현춘 ,  최진석 ,  김동원 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

TaSi2 형성시 단결정 실리콘 기판에 이온주입된BF2의 거동 ( The Behavior of BF2 Implanted Single Crystalline Si Substrates During the Formation of TaSi2 )

조현춘 ,  양희준 ,  최진석 외 1명

전자공학회논문지-A

1991 .10

Fe₃O₄ 박막의 증착 속도에 따른 광학적 특성 변화

정지윤 ,  김윤재 ,  정윤교 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

Dopant가 주입된 poly-Si 기판에서 Ta-silicides의 형성 및 dopant 의 거동에 관한 연구

최진석 ,  조현춘 ,  황유상 외 2명

한국재료학회지

1991 .01

SYNTHESIS AND CHARACTERIZATION OF NEW HIGH DIELECTRIC (BA$_{0.65}$SR$_{0.35}$)(TI$_{0.65}$ZR$_{0.35}$)O$_3$ FILMS

Kim ,  Jin-Cheol ,  Pa 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

EBE growth and properties of CuInS₂ thin film

Woon-Jo Jeong ,  Gye-Choon Pa ,  k

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

1993 .08

Wafer Size Effect in Chemical Mechanical Polishing (CMP) of Silicon Dioxide (SiO₂) Film

Hyunseop Lee ,  Yeongbong Pa ,  k 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .05

CVD에 의한 SnO₂ Film 제조시 증착조건이 Film의 증착속도 및 물리적 성질에 미치는 영향

이동윤 ,  이상래

한국표면공학회지

1985 .09

펄스 레이저 증착법에 의한 (Pb_0.72La_0.28)Ti_0.93O₃ 박막의 증착

은동석 ,  박정흠 ,  이상렬 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

증착온도가 저유전 a-C:F 박막의 특성에 미치는 영향

박정원 ,  양성훈 ,  박종환

한국재료학회지

1999 .01

금속박막증착 ( Metal thin film deposition ) 시 두께 조절

장지근

대한전자공학회 심포지엄 논문집

1978 .01

증착변수에 따른 다이아몬드 박막특성 연구

최지환 ,  박종완 ,  박정일 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

유기반도체 박막증착을 위한 선형증착원의 유체유동해석

곽인철 ,  양영수 ,  최범호 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2009 .10

증착조건에 따른 백금 박막의 에피탁시 성장거동 변화

문형모 ,  김상섭 ,  안건호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01