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논문 기본 정보

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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.26 No.10
발행연도
2009.10
수록면
74 - 80 (7page)

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This paper presents a study on fluid flow analysis of organic semiconductor thin film deposition process using the computational numerical method. In the production process, the thickness of deposited organic thin film depends on distribution of nozzle size in the linear cell system, so we analyze to decide the optimal nozzle system for uniform thickness of organic thin film. The results of deposited thickness of thin film by numerical analysis are in good agreement with those of the experimental measurements.

목차

1. 서론
2. 유기반도체 증착기
3. 진공용기내부 유동해석
4. 해석결과
5. 결론
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