적응성 유한체적법을 적용한 다차원 확산공정 모델링

이준하 ,  이흥주 ,  변기량

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

실리콘에서의 2차원적 불순물의 분포의 산출 ( Characterization of Two-Dimensional Impurity Profile in Silicon )

양영일 ,  경종민

전자공학회논문지

1986 .11

적응성 유한체적법을 적용한 다차원 확산공정 모델링

이준하 ,  이흥주

반도체및디스플레이장비학회지

2004 .01

경계요소법을 이용한 실리콘 내에서 2차원 불순물 분포의 산출

김찬규 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

경계요소법을 이용한 실리콘 내에서 2차원 불순물 분포의 산출 ( A Production of Two-dimensional impurity using Boundary Element Method in Silicon )

김찬규 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

실리콘내 불순물 확산 공정에 관한 유한요소 해석 ( Finite Element Analysis of Impurity Diffusion in Silicon )

권오근 ,  박화식 ,  송영진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

실리콘내 불순물 확산 공정에 관한 유한요소 해석

권오근 ,  박화식 ,  송영진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

TiN/TiSi₂ 경합반응과 불순물 재분포 특성에 대한 기판 실리콘에 주입된 BF₂ 불순물 농도의 영향

李鐵眞 ,  成英權

전기학회논문지

1993 .06

수치해법에 의한 실리콘에서의 불순물의 분포의 산출 ( Numerical Evaluation of Impurity Profile in Silicon )

오형철 ,  경종민

전자공학회지

1984 .11

실리콘에서의 불순물 분포의 산출 ( Characterization of Impurity Profile in Silicon )

양영일 ,  경종민

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Three-Dimensional Simulation of Dopant Distribution in Silicon : Monte Carlo Approach

송재복 ,  이제희 ,  윤상호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

SPIN-ON SOURCE에 의한 실리콘內의 불순물 확산

金忠基 ,  鄭泰源

전기의세계

1978 .12

3 차원 산화 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-dimensional Thermal Oxidation Simulator )

이제희 ,  윤상호 ,  원태영

전자공학회논문지-D

1997 .02

금속 유도 결정화에 의한 저온 불순물 활성화 ( Low Temperature Activation of Dopants by Metal Induced Crystallization )

인태형 ,  신진욱 ,  이병일 외 1명

전자공학회논문지-D

1997 .05

과도 증속 확산 ( TED ) 을 고려한 3차원 확산 시뮬레이터 개발 ( The Development of Three-Dimensional Diffusion Simulator for Transient Enhanced Diffusion )

이제희 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

과도 증속 확산(TED)을 고려한 3차원 확산 시뮬레이터 개발

이제희 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

Monte Carlo 시뮬레이션을 이용한 단결정 실리콘에서 이온주입 불순물 농도 분포 및 점결함 분포의 계산 ( Monte Carlo Calculation of particle and Point Defect Distributions for Ion-Implanted Dopant in Crystalline Silicon )

손명식 ,  이준하 ,  변기량 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

Monte Carlo 시뮬레이션을 이용한 단결정 실리콘에서의 이온 주입 불순물 농도 분포 및 점결함 분포의 계산

손명식 ,  이준하 ,  변기량 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

고농도 불순물 확산 공정을 위한 3차원 시뮬레이션에 관한 연구 ( A Study on the Three-Dimensional Simulation for High Concentration Impurity Diffusion Process )

이준하 ,  변기량 ,  황호정

전자공학회논문지-A

1996 .08

Silicon Epitaxy에서의 Dopant Incorporation

조경익 ,  이승한 ,  백문철 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1983 .11