고농도 불순물 확산 공정을 위한 3차원 시뮬레이션

권오근 ,  이규성 ,  이준하 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

산화 증배 확산을 고려한 3차원 불순물 확산에 관한 연구 ( A Study on the Three-Dimensional Impurity Diffusion During the Thermal Oxidation )

이승철 ,  권오근 ,  이준하 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

산화 증배 확산을 고려한 3차원 불순물 확산에 관한 연구

이승철 ,  권오근 ,  이준하 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

실리콘내 불순물 확산 공정에 관한 유한요소 해석 ( Finite Element Analysis of Impurity Diffusion in Silicon )

권오근 ,  박화식 ,  송영진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

실리콘내 불순물 확산 공정에 관한 유한요소 해석

권오근 ,  박화식 ,  송영진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

실리콘에서의 2차원적 불순물의 분포의 산출 ( Characterization of Two-Dimensional Impurity Profile in Silicon )

양영일 ,  경종민

전자공학회논문지

1986 .11

경계요소법을 이용한 실리콘 내에서 2차원 불순물 분포의 산출

김찬규 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

경계요소법을 이용한 실리콘 내에서 2차원 불순물 분포의 산출 ( A Production of Two-dimensional impurity using Boundary Element Method in Silicon )

김찬규 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

SPIN-ON SOURCE에 의한 실리콘內의 불순물 확산

金忠基 ,  鄭泰源

전기의세계

1978 .12

실리콘에서의 불순물 분포의 산출 ( Characterization of Impurity Profile in Silicon )

양영일 ,  경종민

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

반도체 내에서의 2차원 불순물 분포를 얻기 위한 수치해법의 비교 ( Comparison of Numerical Methods for Obtaining 2-D Impurity Profile in Semiconductor )

양영일 ,  경종민 ,  오형철

전자공학회지

1985 .05

III-V 반도체 이종구조에서 불순물 확산에 의한 계면결함의 생성과 전개

박효훈 ,  이정용

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

초기 산소 농도가 고에너지 이온 주입시 발생하는 산소 축적 및 불순물 확산에 미치는 영향 ( Effects of Initial Oxygen Concentration on Oxygen Pileup and the Diffusion of Impurities after High-energy Ion Implantation )

고봉균 ,  곽계달

전자공학회논문지-D

1999 .04

수치해법에 의한 실리콘에서의 불순물의 분포의 산출 ( Numerical Evaluation of Impurity Profile in Silicon )

오형철 ,  경종민

전자공학회지

1984 .11

이차원 불순물 분포의 도출 방법-이론 ( Extraction Method for 2-Dimensional Doping Profile-Theory )

김경태 ,  오춘식 ,  경종민 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

분자 단위 승온 불순물 측정, 진단 및 분석기술에 대한 고찰

임종연 ,  임철환 ,  김경동 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

BEM을 이용하여 열산화를 고려한 실리콘 내에서 불순물의 2차원 재분포에 관한 연구

김훈 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

BEM을 이용하여 열산화를 고려한 실리콘 내에서 불순물의 2차원 재분포에 관한 연구 ( Two-Dimensional Redistribution of Impurity Considering Thermal Oxidation in Silicon Using BEM )

김훈 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

과도 증속 확산 ( TED ) 을 고려한 3차원 확산 시뮬레이터 개발 ( The Development of Three-Dimensional Diffusion Simulator for Transient Enhanced Diffusion )

이제희 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

과도 증속 확산(TED)을 고려한 3차원 확산 시뮬레이터 개발

이제희 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1997 .11