Al-1%Si 과 Ti-Silicide의 반응성에 관한 연구 ( A Study on the Reaction of Al-1%Si with Ti-Silicide )

송영식 ,  백수현 ,  황유상 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1992 .01

Composite Target으로 증착된 Ti-Silicide의 형성 ( The Formation of Ti-Silicide Deposited With Composite Target )

강성건 ,  송영식 ,  황유상 외 7명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

Ti-실리사이드 형성에 관한 연구 ( A Study on the Ti-Silicide Formation )

김학균 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

고속열확산에 의한 얕은접합 형성과 Ti- 실리사이드화 된 n⁺-p 다이오드 특성분석

崔度永 ,  李晟旭 ,  朱政奎 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

Ti-실리사이트 형성에 관한 연구

김학균 ,  주승기

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

Ta층을 사용한 Ti-silicide의 응집화 방지에 관한 연구

강성건 ,  최진석 ,  황유상 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Poly-Si에 도핑공정변화에 따른 Ti-Silicides 형성반응에 관한 연구 ( The formation of Ti-Silicides with the change of doping process on the poly-Si )

류연수 ,  최진석 ,  백수현

대한전자공학회 학술대회

1988 .11

Thermal Instability of ( Ti , Co ) Silicides by High Temperature Annealing

엄우용 ,  장호정 ,  장지근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Si 기판에 주입된 BF2불순물이 Ti Silicides 형성에 미치는 영향 ( Effects of Implanted BF2 on the Formation of Ti-Silicides )

최석훈 ,  최진석 ,  백수현

전자공학회논문지

1990 .12

Composite Target으로 증착된 Ti-silicide의 현성에 관한 연구[II]

최진석 ,  백수현 ,  송영식 외 2명

한국재료학회지

1991 .01

Co/Ti 이중막 실리사이드를 이용한 $p^{+}$-n극저접합 다이오드의 제작과 전기적 특성

장지근 ,  엄우용 ,  장호정

한국재료학회지

1998 .01

A Novel Self-Aligned Polycrystalline Silicon Thin Film Transistor using Silicide Layers

류재일 ,  김현철 ,  오재영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

니켈 코발트 합금조성에 따른 복합실리사이드의 물성 연구

김상엽 ,  송오성

한국재료학회지

2007 .01

Poly-Si에 이온 지입된 dopants가 Ti-Silicides 형성에 미치는 영향 ( Effects of dopants introduced into the poly-Si on the formation of Ti-Silicides )

류연수 ,  최진석 ,  백수현

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

Co / Ti 이중막 실리사이드 접촉을 갖는 P＋－N 극저접합 다이오드의 제작과 전기적 특성 ( Fabrication and Electrical Characteristics P＋－N Ultra Shallow Junction with Co/Ti Bilayer Silicide Contact )

신철상 ,  엄우용 ,  장호정 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

Co/Ti 이중막 실리사이드 접촉을 갖는 P⁺-N 극저접합 다이오드의 제작과 전기적특성

신철상 ,  엄우용 ,  장호정 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

A Latch-up Characteristics of Silicide Cathode Contact IGBT Employing Self-Aligned Pocket Implantation

김두영 ,  변대식 ,  윤종만 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Fabrication and Properties of the Ti-Silicided Emitter Tip Arrays

백동기 ,  윤진모 ,  장호정 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

급속 열처리 방식에 의한 Ti-실리사이드의 형성 연구 ( Formation of Ti-silicides by Rapid Thermal Annealing )

엄우용 ,  장호정 ,  장지근 외 1명

전자공학회논문지-A

1996 .08