급속 열처리 장치에 의한 코발트 실리사이드 형성과 성장에 관한 연구 ( A Study on the Formation and Growth of Cobalt Silicide by Rapid Thermal Processor )

박종성 ,  박세근

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

급속 열처리 방식에 의한 Ti-실리사이드의 형성 연구 ( Formation of Ti-silicides by Rapid Thermal Annealing )

엄우용 ,  장호정 ,  장지근 외 1명

전자공학회논문지-A

1996 .08

RTP를 사용한 타이타늄 실리사이드 형성의 공정 조절 ( Process Control of Titanium Silicide Formation Using RTP )

이용재

한국통신학회논문지

1990 .05

급속열처리에 의한 Ti-실리사이드와 접합의 동시형성에 관한 연구 ( A Study on the Simultaneous Formation of a Ti-Silicide and a Junction by the RTA Process )

민경익 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1991 .03

Ti-실리사이드 형성에 관한 연구 ( A Study on the Ti-Silicide Formation )

김학균 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

Si기판에 주입된 As이온이 Titanium-Silicides 형성에 미치는 영향 - 1 - ( Effects of As Ions Implanted in Si Substrates on the Titanium-Silicides Formation )

정주혁 ,  최진석 ,  백수현

전자공학회논문지

1989 .06

텅스텐 실리사이드 열처리 거동에 미치는 계면 효과

진원화 ,  오상헌 ,  이재갑 외 4명

한국표면공학회지

1997 .12

고속열확산에 의한 얕은 접합 형성과 Ti-실리사이드화 된 n+ -P 다이오드 특성분석 ( The formation of the Shallow Junction by Rapid Thermal Diffusion and characteristic Analysis for n+ -p Diode with Ti-silicide )

최도영 ,  이성욱 ,  주정규 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

Titanium과 Cobalt silicide의 연구

김상용 ,  유석빈 ,  서용진 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

급속 열처리 시스템의 개발 및 응용 ( Development and Application of Rapid Thermal Process System )

김윤태 ,  정기로 ,  김호영 외 2명

전자공학회논문지

1988 .09

급속 열처리 시스템의 개발 및 응용 ( Development & Application of rapid thermal process system )

김윤태 ,  정기로 ,  김호영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

고온스퍼터링법으로 제작된 티타늄실리사이드의 구조적 전기적 특성 연구

이세준 ,  김두수 ,  성규석 외 8명

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

다결정 실리콘 기판 위에 형성된 나노급 니켈 코발트 복합살리사이드의 미세구조 분석

송오성

한국산학기술학회 논문지

2007 .04

Nano CMOS 소자를 위한 Ni-silicide의 Dopant 의존성 분석

배미숙 ,  지희환 ,  이헌진 외 5명

전자공학회논문지-SD

2003 .11

니켈 코발트 합금조성에 따른 복합실리사이드의 물성 연구

김상엽 ,  송오성

한국재료학회지

2007 .01

역전법을 응용한 실리사이드화된 매우 얇은 접합의 형성 ( Formation of Silicided Ultra-Shallow Junction employing Layer Reversal Method )

김종렬 ,  홍성윤 ,  윤명로 외 2명

전자공학회논문지-A

1996 .08

Composite Target으로 증착된 Ti-silicide의 현성에 관한 연구[II]

최진석 ,  백수현 ,  송영식 외 2명

한국재료학회지

1991 .01

Properties of Co-silicide prepared by rapid thermal annealing

엄우용 ,  장호정 ,  장지근 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

코발트/니켈 적층구조 박막으로부터 형성된 복합실리사이드

송오성 ,  정성희 ,  김득중 외 1명

한국재료학회지

2004 .01

코발트 니켈 복합 실리사이드 공정에서 하부 형상에 따른 잔류 금속의 형상 변화

송오성 ,  김상엽

한국산학기술학회 논문지

2005 .06