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이용수
Abstract
1.Introduction
2. Process Description
3. Model Identification
4. LQG Iterative Learning Control
5. Results and Discussion
6. Conclusions
Reference
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최적 반복 학습 제어기법을 이용한 RTP의 웨이퍼 온도균일제어
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2000 .10
Temperature Uniformity Control in Rapid Thermal Processing using Iterative Learning Control Techniques
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1999 .10
고속 열처리 공정에서 웨이퍼 온도의 반복 학습 제어
제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집
1999 .03
웨이퍼 온도 균일도를 위한 급속 열공정 (RTP)의 최적화
대한기계학회 기타 간행물
2002 .11
8인치 웨이퍼의 온도균일도향상을 위한 고속열처리공정기의 최적 파라미터에 설계에 관한 연구 ( A Study on the Optimal Parameter Design of Rapid Thermal Processing to Improve Wafer Temperatures Uniformity )
전자공학회논문지-D
1997 .10
신경망 기반의 반복학습제어를 이용한 고속 열처리 공정기의 온도 제어
제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집
1999 .03
Identification and Multivariable Iterative Learning Control of an RTP Process for Maximum Uniformity of Wafer Temperature
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2003 .10
RTP 공정의 온도균일성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1994 .07
RTP 공정의 온도균일성에 관한 연구 ( A Study on the Wafer Temperature Uniformity in Rapid Thermal Processing Systems )
대한전자공학회 학술대회
1994 .07
반도체 공정에서 웨이퍼의 온도균일도향상을 위한 고속열처리공정기의 최적 파라미터 설계
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1997 .10
반복학습제어의 발전
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2008 .10
궤환을 갖는 2차 반복 학습제어 알고리즘에 관한 연구
전기학회논문지 A
1999 .05
실시간 제어를 위한 고속 열처리 공정에서 웨이퍼 온도 분포 추정 기법
제어로봇시스템학회 논문지
2000 .09
급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )
특정연구 결과 발표회 논문집
1989 .01
급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )
한국통신학회 학술대회논문집
1989 .01
비선형 시스템의 반복 학습제어 알고리즘에 관한 연구
전기학회논문지
1993 .10
반복 학습 제어의 수렴 특성에 관한 연구 ( A Study on Convergence Property of Iterative Learning Control )
전자공학회논문지-SC
2001 .07
반복 학습 제어를 이용한 2관성 공진계의 위치 제어 관한 연구
한국지능시스템학회 학술발표 논문집
2003 .09
뉴로제어 및 반복학습제어 기법을 결합한 미지 비선형시스템의 적응학습제어
한국지능시스템학회 논문지
1998 .06
A Robust Controller Design for Uniform Temperature Control of Nonlinear Multivariable Rapid Thermal Processor
Journal of Electrical Engineering and Information Science
1997 .02
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