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대한전자공학회 전자공학회논문지-D 전자공학회논문지 D편 제34권 제10호
발행연도
1997.10
수록면
845 - 853 (9page)

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1997

반도체 공정에서 웨이퍼의 온도균일도향상을 위한 고속열처리공정기의 최적 파라미터 설계
최성규 ,  최진영 ,  권욱현 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 1997.10 학술대회자료
8인치 웨이퍼의 온도균일도향상을 위한 고속열처리공정기의 최적 파라미터에 설계에 관한 연구 ( A Study on the Optimal Parameter Design of Rapid Thermal Processing to Improve Wafer Temperatures Uniformity )
최성규 ,  최진영 ,  권욱현 전자공학회논문지-D 1997.10 학술저널

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최성규 ,  최진영 ,  권욱현 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 1997 .10
급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )
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