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이용수
Abstract
1. INTRODUCTION
2. DESCRIPTION OF THE EXPERIMENTAL RTP SYSTEM
3. THERMAL BALANCE MODELING
4. CONTROL MODEL
5. TWO-STAGE OPTIMAL BATCH CONTROL TECHNIQUE
6. RESULTS AND DISCUSSION
7. CONCLUSIONS
ACKNOWLEDGMENTS
REFERENCE
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최적 반복 학습 제어기법을 이용한 RTP의 웨이퍼 온도균일제어
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2000 .10
Control of Wafer Temperature Uniformity in Rapid Thermal Processing using an Optimal Iterative Learning Control Technique
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2000 .10
A Robust Controller Design for Uniform Temperature Control of Nonlinear Multivariable Rapid Thermal Processor
Journal of Electrical Engineering and Information Science
1997 .02
RTP 공정의 온도균일성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1994 .07
RTP 공정의 온도균일성에 관한 연구 ( A Study on the Wafer Temperature Uniformity in Rapid Thermal Processing Systems )
대한전자공학회 학술대회
1994 .07
On the Iterative Learning Control
ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications
1996 .01
진공 솔더링 공정 중 웨이퍼 온도균일화 제어
반도체디스플레이기술학회지
2012 .01
A Second-Order Iterative Learning Control Method
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1988 .10
A Second-Order Iterative Learning Control Method
대한전자공학회 학술대회
1988 .01
웨이퍼 온도 균일도를 위한 급속 열공정 (RTP)의 최적화
대한기계학회 기타 간행물
2002 .11
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2011 .07
RTP 지원을 위한 RTCP 제어 Differentiated Service
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1999 .07
Iterative Learning Control Based on Inverse Process Model
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1992 .10
Micro-scale Thermal Sensor Manufacturing and Verification for Measurement of Temperature on Wafer Surface
반도체디스플레이기술학회지
2013 .01
RTP 패킷 손실 감소에 관한 연구
한국방송미디어공학회 학술발표대회 논문집
1999 .11
Robust Iterative Learning Control Algorithm
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1995 .11
ADAPTIVE DIGITAL CONTROL OF MULTIVARIABLE SYSTEMS
대한전자공학회 학술대회
1979 .01
모델 정보 추정을 이용한 모델 기반 반복학습제어
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2014 .05
Combined Run-to-Run and Delta LQG Control : Controller Design and Application to 12-inch RTP Equipment
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2010 .10
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1999 .03
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