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이용수
Abstract
1. 서론
2. 고속 열처리 공정기의 구조
3. 신경망 기반의 반복학습제어
4. 모의실험
5. 결론
참고문헌
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Temperature Uniformity Control in Rapid Thermal Processing using Iterative Learning Control Techniques
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1999 .10
고속 열처리 공정에서 웨이퍼 온도의 반복 학습 제어
제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집
1999 .03
최적 반복 학습 제어기법을 이용한 RTP의 웨이퍼 온도균일제어
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2000 .10
Control of Wafer Temperature Uniformity in Rapid Thermal Processing using an Optimal Iterative Learning Control Technique
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2000 .10
반복학습제어의 발전
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2008 .10
궤환을 갖는 2차 반복 학습제어 알고리즘에 관한 연구
전기학회논문지 A
1999 .05
비선형 시스템의 반복 학습제어 알고리즘에 관한 연구
전기학회논문지
1993 .10
반복 학습 제어의 수렴 특성에 관한 연구 ( A Study on Convergence Property of Iterative Learning Control )
전자공학회논문지-SC
2001 .07
반복 학습 제어를 이용한 2관성 공진계의 위치 제어 관한 연구
한국지능시스템학회 학술발표 논문집
2003 .09
Position control of Electro hydraulic actuator (EHA) Using an iterative learning control
유공압건설기계학회 학술대회논문집
2014 .09
실시간 제어를 위한 고속 열처리 공정에서 웨이퍼 온도 분포 추정 기법
제어로봇시스템학회 논문지
2000 .09
뉴로제어 및 반복학습제어 기법을 결합한 미지 비선형시스템의 적응학습제어
한국지능시스템학회 논문지
1998 .06
On the Iterative Learning Control
ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications
1996 .01
Inner-outer 분해와 H∞ 제어
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1994 .10
여유 자유도를 가진 서보 시스템의 H∞제어
전기학회논문지
1997 .09
확장된 반복 학습제어 시스템의 주파수 영역 해석 ( Frequency Domain Analysis of an Extended Iterative Learning Control System )
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
A Second-Order Iterative Learning Control Method
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1988 .10
A Second-Order Iterative Learning Control Method
대한전자공학회 학술대회
1988 .01
이산 동적 시스템에서의 반복 학습제어에 관한 연구 ( A Study on Iterative Learning Control Method for Discrete-Time Dynamic Systems )
전자공학회논문지-B
1991 .03
비선형 역학 시스템의 반복학습제어에 관하여 ( An Iterative Learning Control Method for A Class of Nonlinear Dynamic Systems )
전자공학회논문지-B
1991 .03
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