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제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 1999년 한국자동제어학술회의 논문집 제4권
발행연도
1999.10
수록면
405 - 408 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2000

Control of Wafer Temperature Uniformity in Rapid Thermal Processing using an Optimal Iterative Learning Control Technique
이진호 ,  진인식 ,  이광순 외 1명 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 2000.10 학술대회자료

1999

Temperature Uniformity Control in Rapid Thermal Processing using Iterative Learning Control Techniques
이진호 ,  진인식 ,  이광순 외 1명 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 1999.10 학술대회자료

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목차

Abstract
1. INTRODUCTION
2. MODELING OF AN RTP SYSTEM
3. MODEL IDENTIFICATION
4. BMPC (Lee and Lee, 1998)
5. RESULTS AND DISCUSSION
6. CONCLUSIONS
Acknowledgement
REFERENCES

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