LITHOGRAPHIC MATERIALS AND PROCESSES FOR VLSI

Michael Hatzakis

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Linear stepper 형 surface motor의 구동 특성 예측과 과도특성 개선에 관한 연구

최진욱 ,  양선호 ,  박철우

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1998 .10

Optical Stepper 의 이중노광에 의한 미세한 포토레지스트 패턴의 형성 ( Very Fine Photoresist Pattern Formation using Double Exposure of Optical Wafer Stepper )

양전욱 ,  김봉렬 ,  박철순 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .07

Nonlinear Observer for Permanent Magnet Stepper Motor

Wonhee Kim ,  Induk Choi ,  Chung Choo Chung 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2009 .09

A Study on Nanostructure Fabricated by Stepper Process

E. J. Yeo ,  C. Pa ,  k 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Non-Photoresist Lithographic Materials: From Assisting to Enabling New Processes

Ralph R. Dammel

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04

Phase Shift Focus Monitor Reticle을 이용한 Stepper 평가 ( Application of Phase Shift Focus Monitor Reticle to the Evaluation of Stepper Lenses )

박정철 ,  계종욱 ,  문성용 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

스테퍼 모터를 위한 비선형 제어기법의 개관

김원희 ,  신동훈 ,  이영우 외 1명

제어로봇시스템학회 논문지

2014 .03

Optimum placement of the stepper motor on the lift pin up/down drive unit considering the operating temperature limit

Nico S. Effendi ,  Byoung Guk Kim ,  Jeong Sik Pa 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

Velocity Control of Permanent Magnet Stepper Motor Using Nonsingular Terminal Sliding Mode Controller

WEIMING YANG ,  Yong Woo Jeong ,  Chung Choo Chung

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2019 .05

Lithographic Characteristics of the Exposure Technology Based on the Dummy Diffraction Mask

Yong Ho Oh ,  Hyung Joun Yoo

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

Lithographic Data Generation Algorithm based on Micromirror Cell Decomposition

Younghun Jin ,  Kiwon Pa ,  k 외 3명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

Fabrication of a Hydrophilic Composite Mold and its Application for Various Soft Lithographic Techniques

Nae Yoon Lee ,  Min Jung Lee ,  Ju Ri Lim 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10

Soft-lithographic preparation of hybrid Sol-Gel waveguide

령티빛 ,  정유리 ,  허지현 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2009 .04

Non-lithography 방법에 의한 마이크로 구조물 제작 및 응용

성인하 ,  김진산 ,  김대은

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2002 .05

Preparation of Patterned Polymeric Scaffold by Soft Lithographic Method and Its Characterization for Tissue Engineering

Ayse Zeh ,  a AROGUZ

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .10

Microstep Stepper Motor Control Based on FPGA Hardware Implementation

So ,  awat Chivap ,  eecha 외 1명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2005 .06

Polyimide gate insulator with excellent chemical resistance for photo-lithographic processes

최유정 ,  이미혜 ,  안택

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .04

Electron Beam Direct Writing for Miz-and-Match with Stepper

Sang Bo Lee ,  Yeo Hwan Kim ,  Hye Keun Oh 외 3명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

Lithographic Microfabrication by using Photosensitive Quantum Dots

장경국 ,  P ,  abhaka 외 7명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2009 .10