LITHOGRAPHIC MATERIALS AND PROCESSES FOR VLSI

Michael Hatzakis

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Evaluation of Lithographic Performance of X-Ray Stepper XS-1

T. Taguchi ,  S. Mitsui ,  Y. Tanaka 외 14명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Non-Photoresist Lithographic Materials: From Assisting to Enabling New Processes

Ralph R. Dammel

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04

Non-lithography 방법에 의한 마이크로 구조물 제작 및 응용

성인하 ,  김진산 ,  김대은

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2002 .05

CPM 네트워크 구성체계에서 Dummy 해석에 관한 연구 ( A Study on Dummy Analysis of CPM Network Logic System )

배강희

대한건축학회 논문집

1992 .02

Lithographic Data Generation Algorithm based on Micromirror Cell Decomposition

Younghun Jin ,  Kiwon Pa ,  k 외 3명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

한국인 인체 모델의 팔 동작 시뮬레이션

정윤석 ,  손권 ,  최경현 외 1명

한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집

2002 .05

Fabrication of a Hydrophilic Composite Mold and its Application for Various Soft Lithographic Techniques

Nae Yoon Lee ,  Min Jung Lee ,  Ju Ri Lim 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10

Mask Contamination Induced by X-Ray Exposure

I. Okada ,  Y. Saitoh ,  K. Deguchi 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

SUB-QUARTER MICRON LITHOGRAPHY : KrF EXCIMER LASER STEPPER WITH DUMMY DIFFRACTION MASK

Doh Hoon Kim ,  Byung Sun Pa ,  k 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Parametric Study for a Diffraction Optics Fabrication by Using a Direct Laser Lithographic System

김영광 ,  이혁교 ,  김영식 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2016 .10

Efficient Masked Implementation for SEED Based on Combined Masking

HeeSeok Kim ,  Young In Cho ,  Dooho Choi 외 2명

[ETRI] ETRI Journal

2011 .04

Soft-lithographic preparation of hybrid Sol-Gel waveguide

령티빛 ,  정유리 ,  허지현 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2009 .04

네트워크공정에서 명목상작업의 여유시간 산정방법에 관한 기초적 연구

이상범 ,  이진호

대한건축학회 논문집 - 구조계

2006 .05

미해상회절 마스크 광리소그래피를 이용한 T-형 패턴 게이트 형성기술

박병선 ,  오용호 ,  양전욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

논리더미 파악을 위한 휴리스틱 기법

김경환

대한건축학회 논문집 - 구조계

2007 .02

Photo mask Technology Trend

손정민

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Preparation of Patterned Polymeric Scaffold by Soft Lithographic Method and Its Characterization for Tissue Engineering

Ayse Zeh ,  a AROGUZ

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .10

Polyimide gate insulator with excellent chemical resistance for photo-lithographic processes

최유정 ,  이미혜 ,  안택

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .04

Mask 제작기술

김진곤

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01