신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정제어에 관한 연구

차상엽 ,  고택범 ,  유정식 외 4명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1995 .10

Prediction of plasma etching using genetic-algorithm controlled backpropagation neural network

Sungmo Kim ,  Byungwhan Kim

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2003 .10

A Plasma-Etching Process Modeling Via a Polynomial Neural Network

Dongwon Kim ,  Byungwhan Kim ,  Gwi-Tae Pa 외 1명

[ETRI] ETRI Journal

2004 .08

Neural Network Structure Design Using Genetic Algorithm

Junichi MURATA ,  Kei TANAKA ,  Masa 외 3명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1995 .10

유전알고리즘과 신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정의 모델링과 최적제어입력탐색

高澤範 ,  車相燁 ,  兪正植 외 5명

전기학회논문지

1996 .01

Evolutionary designing neural networks structures using genetic algorithm

Mino ,  u ITOU ,  Masano 외 1명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2001 .10

Plasma etching behavior of RE-Si-Al-O glass (RE: Y, La, Gd)

이정기 ,  황성진 ,  이성민 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

인공 신경망을 이용한 반도체 식각 공정 제어에 관한 연구

최문규 ,  김훈모 ,  윤건상

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .11

PCA와 RBF Neural Network Model을 이용한 Plasma Etch 공정에서의 종료점 검출

김민우 ,  홍상진 ,  한승수

대한전자공학회 학술대회

2011 .06

나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술

양경채 ,  박성우 ,  신태호 외 1명

한국표면공학회지

2015 .12

Training Neural Network Controller Using Modified Genetic Algorithm

Il Kwon Jeong ,  Ju Jang Lee

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

Surface Analysis of Fluorine-Plasma Etched Y-Si-Al-O-N Oxynitride Glasses

Lee ,  Jung-Ki ,  Hwang 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링

유정식 ,  하대원 ,  우광방 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1994 .10

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링 ( Neural Network Modeling of Plasma Etching Process )

유정식 ,  고택범 ,  차상엽 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Fuzzy systems, neural networks and genetic algorithms

Hyung Lee-Kwang ,  Jee-Hyong Lee

한국정보과학회 학술발표논문집

1999 .10

Using Genetic Algorithms for Automatic Construction of Higher-Order Neural Models

Byoung Tak Zhang ,  Heinz Muhlenbein

ICONIP : International Conference On Neural Information Processing

1994 .01

Investigation of Plasma Etching Properties of Polymeric Materials Used for Packaging Application

Chang-ho Ra ,  Li Huamin ,  Yoo won jong 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Via Contact 형성을 위한 산화막 식각공정의 신경망 모델

배윤규 ,  권성구 ,  김병환 외 4명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Plasma and Reactive Ion Etching

전영진

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01