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Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 신경회로망을 이용한 식각공정의 모델링
4. 유전알고리즘을 이용한 최적제어입력 탐색
5. 실험 결과
6. 결론
참고문헌
저자소개
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신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정제어에 관한 연구
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1995 .10
플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1994 .10
플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링 ( Neural Network Modeling of Plasma Etching Process )
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
신경회로망 모델을 이용한 플라즈마 식각공정의 최적 공정 운영
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1994 .10
신경회로망 모델을 이용한 플라즈마 식각공정의 최적 공정 운영 ( Optimal operation of plasma etching process utilizing neural network )
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정의 최적운영과 이상검출에 관한 연구
제어로봇시스템학회 논문지
1998 .08
Genetic Control of Learning and Prediction : Application to Modeling of Plasma Etch Process Data
제어로봇시스템학회 논문지
2007 .04
신경 회로망과 유전 알고리즘을 이용한 비선형 시스템의 모델링
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2001 .10
신경회로망에 의한 최적제어
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1999 .10
플라즈마 식각 라디칼의 신경망 모델링
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .10
신경회로망에 의한 시간최적 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2000 .05
플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
유전 알고리즘을 이용한 웨이블릿 신경회로망의 최적 구조 설계
한국지능시스템학회 논문지
2000 .08
유전 알고리듬을 이용한 웨이블릿 신경회로망의 최적 구조 설계
한국지능시스템학회 학술발표 논문집
2000 .05
하이브리드 모델을 이용한 플라즈마 식각 공정에서의 식각종료점 검출
대한전자공학회 학술대회
2011 .06
적응 훈련 신경망을 이용한 플라즈마 식각 공정 수율 향상을 위한 공정 분석 및 예측 시스템 개발
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1999 .11
유전 알고리즘을 이용한 이동로봇의 실시간 신경회로망 제어
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2002 .04
유전 알고리즘을 이용한 이동로봇의 실시간 신경회로망 제어
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2001 .10
신경 회로망을 이용한 부품 조립 공정의 최적화 알고리즘
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1996 .10
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