반도체 식각 공정모니터링 시스템 개발

박정우 ,  이효익 ,  이홍렬 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

2012 .11

신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정제어에 관한 연구

차상엽 ,  고택범 ,  유정식 외 4명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1995 .10

공정개선을 위한 인공신경망의 실험적 적용에 관한 연구

한우철

한국컴퓨터정보학회논문지

2002 .03

OES 센서를 이용한 반도체 식각 공정 모니터링 시스템 개발

김상철

한국컴퓨터정보학회논문지

2013 .03

반도체 에칭 공정용 플라즈마 가스 제어 장치 구조해석

이원석 ,  박상현 ,  조준현 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2014 .11

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링 ( Neural Network Modeling of Plasma Etching Process )

유정식 ,  고택범 ,  차상엽 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링

유정식 ,  하대원 ,  우광방 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1994 .10

플라즈마 식각 라디칼의 신경망 모델링

김우석 ,  김병환

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

반도체 공정 최적화를 위한 일반화된 회귀 신경망 플라즈마 모델

박성진 ,  김병환

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

반도체 식각 공정에 필요한 플럭스 분포 조건 연구

정승한 ,  권오봉

대한전자공학회 학술대회

2014 .06

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

반도체 식각 공정용 공간 평균 시뮬레이터 및 데이터베이스 개발

권득철 ,  이세아 ,  장원석 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .05

적응 훈련 신경망을 이용한 플라즈마 식각 공정 수율 향상을 위한 공정 분석 및 예측 시스템 개발

최문규 ,  김훈모

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

1999 .11

반도체 식각 장비 개발의 경쟁력

김남헌

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

반도체 에칭 공정용 플라즈마 가스 제어 장치 구조 해석 Ⅱ

박상현 ,  이원석 ,  조준현 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

신경회로망 모델을 이용한 플라즈마 식각공정의 최적 공정 운영

고택범 ,  차상엽 ,  하대원 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1994 .10

신경회로망 모델을 이용한 플라즈마 식각공정의 최적 공정 운영 ( Optimal operation of plasma etching process utilizing neural network )

유정식 ,  고택범 ,  차상엽 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

A Plasma-Etching Process Modeling Via a Polynomial Neural Network

Dongwon Kim ,  Byungwhan Kim ,  Gwi-Tae Pa 외 1명

[ETRI] ETRI Journal

2004 .08

인공신경망을 이용한 공정고장 진단방법 ( A Fault Diagnosis Method Using an Artificial Neural Network )

이상규 ,  박선원

대한전자공학회 학술대회

1990 .01