신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정제어에 관한 연구

차상엽 ,  고택범 ,  유정식 외 4명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1995 .10

Design of Polynomial Neural Network Classifier for Pattern Classification with Two Classes

Byoung-Jun Pa ,  k ,  Sung-Kwun Oh 외 1명

Journal of Electrical Engineering & Technology

2008 .03

Modeling the Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Process Using Polynomial Neural Networks

Seung-Soo Han

한국지능시스템학회 논문지

1999 .04

Prediction of plasma etching using genetic-algorithm controlled backpropagation neural network

Sungmo Kim ,  Byungwhan Kim

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2003 .10

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링 ( Neural Network Modeling of Plasma Etching Process )

유정식 ,  고택범 ,  차상엽 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링

유정식 ,  하대원 ,  우광방 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1994 .10

PCA와 RBF Neural Network Model을 이용한 Plasma Etch 공정에서의 종료점 검출

김민우 ,  홍상진 ,  한승수

대한전자공학회 학술대회

2011 .06

Plasma etching behavior of RE-Si-Al-O glass (RE: Y, La, Gd)

이정기 ,  황성진 ,  이성민 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

Via Contact 형성을 위한 산화막 식각공정의 신경망 모델

배윤규 ,  권성구 ,  김병환 외 4명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술

양경채 ,  박성우 ,  신태호 외 1명

한국표면공학회지

2015 .12

Surface Analysis of Fluorine-Plasma Etched Y-Si-Al-O-N Oxynitride Glasses

Lee ,  Jung-Ki ,  Hwang 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

퍼지 결합 다항식 뉴럴 네트워크

盧石範 ,  吳聖權 ,  安泰天

전기학회논문지

2007 .07

Investigation of Plasma Etching Properties of Polymeric Materials Used for Packaging Application

Chang-ho Ra ,  Li Huamin ,  Yoo won jong 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

인공 신경망을 이용한 반도체 식각 공정 제어에 관한 연구

최문규 ,  김훈모 ,  윤건상

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .11

Rule-Based Fuzzy Polynomial Neural Networks in Modeling Software Process Data

Byoung-Jun Pa ,  k ,  Dong-Yoon Lee 외 1명

International Journal of Control, Automation, and Systems

2003 .09

Rule-Based Fuzzy Polynomial Neural Networks in Modeling Software Process Data

Byoung-Jun Pa ,  k ,  Dong-Yoon Lee 외 1명

International Journal of Control Automation and Systems

2003 .09

Plasma and Reactive Ion Etching

전영진

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

Etching Effect of Solution Plasma on Gold Nanoparticles

Junko Hieda ,  Takahi ,  o Ishizaki 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

플라즈마 식각 라디칼의 신경망 모델링

김우석 ,  김병환

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10