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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.11
수록면
2,177 - 2,180 (4page)

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In the field of manufacture of semiconductor and flat panel display and development of scanning probe microscope the quality of product and measurement depends on the performance of precision stage. But developing precision stage is not an easy work in terms of the technology and cost due to high performance requirements and high price of the servo equipments. Therefore the flexure hinge stage using the servo parts which are available in office is proposed to reduce the production cost in this paper. The meso-scale displacement sensor using optical pick-up head of CD-ROM and hall sensor is developed and applied to the magnetic force-driven plate spring type flexure hinge stage.
#Optical/magnetic sensor(광/자기 센서) #Flexure hinge(탄성 힌지) #Stage(스테이지)

목차

Abstract
1. 서론
2. 탄성힌지의 설계
3. 구동기의 설계
4. 센서의 설계
5. 시스템 구성 및 실험
6. 결론
참고문헌

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