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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.8
- 수록면
- 5,529 - 5,532 (4page)
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This paper presents a piezo-driven compliant stage implemented by the prismatic-prismatic (PP) compliant joint chains which accomplish a 4-PP compliant guide mechanism for two-DOF translations. The compliant joints consist of circular notch hinges. The 4-PP compliant guide mechanism is driven directly by two stack-type piezoelectric elements. Through design and analysis, the compliant guide mechanism is manufactured by wire electro-discharge machining, and then integrated with two stack-type piezoelectric elements for actuation and two capacitive sensors for ultra-precision displacement measurement. Finally experiments are carried out to demonstrate the performance of the stage with 4-PP compliant guide mechanism. The stage implemented by the compliant guide mechanism is applicable to an ultra-precision alignment system with high resolution.
목차
Abstract
1. INTRODUCTION
2. 4-PP COMPLIANT GUIDE MECHANISM
3. DESIGN OF PIEZO-DRIVEN COMPLIANT STAGE
4. EXPERIMENTS
5. CONCLUSIONS
REFERENCES
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