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저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 춘계학술대회 논문집
발행연도
2005.5
수록면
424 - 428 (5page)

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2005

Micro- Factory 공정간 마이크로 부품 검사 프로브 개발
김기홍 ,  이득우 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료
Micro-Factory 공정간 마이크로 부품 검사 프로브 개발
김기홍 ,  이득우 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005.05 학술대회자료

초록· 키워드

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This paper shows a non-contact optical method to inspect micron scale parts which will be manufactured in micro-factory system. This inspection system should have some characteristics like a small size, flexibility, and high measuring speed. In the viewpoint of measuring capabilities, it also has resolution under micron scale with measuring range over millimeter scale. Two methods will be presented in this paper, one is Moire and the other is white-light scanning interferometry. Also some experimental results will be presented to show the possibilities of the proposed inspection system.
#Micro-Factory #Moire #White-light scanning interferometry #3D measurement #inspection

목차

Abstract
1. 서론
2. 비접촉 측정법
3. 그림자식 모아레를 이용한 측정법
4. 마이크로 렌즈에 대한 적용
5. 결론
후기
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