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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.12
발행연도
2007.12
수록면
88 - 94 (7page)

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A flexure hinge-based compliant stage driven by stack-type piezoelectric elements has high precision motion but small operational range due to the characteristics of the piezoelectric element. Since the common flexure hinges can be broken by excessive deflection when the displacement is amplified by a high amplification ratio, a flexure hinge mechanism for large deflection is required. A cartwheel-type flexure hinge has an advantage of larger deflection compared with the common flexure hinges. This study presents a rotation stage with cartwheel-type flexure hinges driven by a stack-type piezoelectric element. The characteristics and the performance of the rotation stage are described by the terms of principal resonance frequency, amplification ratio of rotational displacement, maximum rotational displacement and block moment, in which the terms are analyzed by geometric parameters of the rotation stage. The analyzed results will be used as the guideline of the design of the rotation stage.
#Rotation stage(회전 스테이지) #Cartwheel-type flexure hinge(십자형 플렉셔 힌지) #Compliant mechanism(컴플라이언트 메커니즘) #Piezoelectric element(압전소자)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 회전 스테이지의 구조
3. 운동방정식
4. 해석
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
Choi , 2006. , A Monolithic Parallel Linear Compliant Mechanism for Two Axes Ultraprecision Linear Motion 77 (6) : 0651061 ~ 0651067 google schola Zhang , 2003. , A Piezodriven XY-microstage for Multiprobe Nanorecording 108 (1) : 230 ~ 233 google schola Choi , 2007. , Optimal Design of a Compliant Mechanism with Circular Notch Flexure Hinges 21 (3) : 385 ~ 392 google schola Ryu , 1997 , Optimal Design of a Flexure Hinge Based XY Wafer Stage 21 (1) : 18 ~ 28 google schola Chang , 1999. , An Ultra-precision XYz Piezo-Micropositioner-Part I: Design and Analysis IEEE Transactions on Ultrasonics 46 (4) : 897 ~ 905 google schola

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