Wafer Level Vacuum Packaged Out-of-Plane and In-Plane Differential Resonant Silicon Accelerometers for Navigational Applications

Illhwan Kim ,  Seonho Seok ,  Hyeon Cheol Kim 외 2명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2005 .03

Development of a Micromachined Differential Type Resonant Accelerometer and Its Performance

Chul Hyun ,  Jang-Gyu Lee ,  Tae-Sam Kang 외 3명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2003 .10

Resonant Loop Design and Performance Test for a Torsional MEMS Accelerometer with Differential Pickoff

Sang Kyung Sung ,  Chul Hyun ,  Jang Gyu Lee

International Journal of Control Automation and Systems

2007 .02

Robust Design of Vertical-type Micro-accelerometer and Coupled Field Analysis by Finite Element Method

Jungyul Pa ,  k ,  Innam Lee 외 5명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2002 .10

수직형 차동공진형가속도계의 공정 오차에 대한 성능의 의존성

김일환 ,  석선호 ,  장연수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2009 .07

Dependence of Performance on Process Fluctuation of Out-of-Plane Differential Resonant Silicon Accelerometer

김일환 ,  석선호 ,  장연수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2009 .07

TRANSIENT OSCILLATION ANALYSIS FOR A MEMS RESONANT ACCELEROMETER

Sangkyung Sung ,  Jang Gyu Lee ,  Taesam Kang 외 2명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2002 .10

공진형 MEMS 가속도계의 음향가진 반응특성 연구

이상우 ,  이형섭 ,  유명종 외 1명

전기학회논문지

2015 .09

Stochastic Analysis of Self-sustained Oscillation Loop for a Resonant Accelerometer

Chul Hyun ,  Jang-Gyu Lee ,  Taesam Kang 외 1명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2004 .08

강건 구조설계에 기반한 미소 공진형 가속도계의 개발

박우성 ,  부상필 ,  박수영 외 4명

센서학회지

2012 .01

Resonant Loop Design and Performance Test for a Torsional MEMS Accelerometer with Differential Pickoff

Sang Kyung Sung ,  Chul Hyun ,  Jang Gyu Lee

International Journal of Control, Automation, and Systems

2007 .02

A Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1994 .06

Hand arm vibration measurement using micro-accelerometer in different brick structures

Gomathi ,  K. ,  Senthilkuma 외 8명

Smart structures and systems

2014 .01

2차원 평면상에서 주파수 추출을 위한 2-축 가속도 센서 Simulation

박북성 ,  이선구 ,  손성일 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .11

Accelerometer Sensor를 이용한 문자 추적에 관한 고찰

여영호 ,  배명수 ,  손수국 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2002 .06

Silicon-on-insulator 구조를 갖는 실리콘 압저항 가속도계의 제작 ( Fabrication of a Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure )

양의혁 ,  양상식 ,  황성호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

서어보 가속도계용 실리콘 펜듈럼 설계

이관섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .11

고온용 3차원 실리콘 가속도센서

손미정 ,  서희돈

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

광섬유를 이용한 미세 광 기계식 가속도 센서의 개발

이승재

한국기계기술학회지

2011 .01

2㎜×2㎜ 압저항형 가속도센서 설계 및 제작

전연화 ,  김현철

전자공학회논문지

2015 .02