Dependence of Performance on Process Fluctuation of Out-of-Plane Differential Resonant Silicon Accelerometer

김일환; 석선호; 장연수; 전국진

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김일환 석선호 장연수 전국진

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2009년 하계종합학술대회

발행연도: 2009.7

수록면: 455 - 456 (2page)

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