A Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1994 .06

압전저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구

양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1992 .10

압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구 ( Study on a Silicon Resonator for Piezoresistive Accelerometers )

양상식 ,  양의혁

대한기계학회 춘추학술대회

1992 .01

Silicon-On-Insulator의 실온제조 ( Silicon-On-Insulator Fabricated at Room Temperature )

이종현 ,  최광돈 ,  강성원 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1988 .01

2㎜ × 2㎜ 초소형 실리콘 압저항형 가속도 센서의 설계 및 제작

전연화 ,  박기웅 ,  김현철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2013 .07

SOI 구조를 이용한 실리콘 압저항 가속도계의 설계 및 제작

양의혁 ,  양상식 ,  한상우

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

Pt/HfSi_xO_y/Silicon 구조의 전기적 특성에 관한 연구

박전웅 ,  염민수 ,  심현상 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

8개의 빔을 갖는 압저항형 실리콘 가속도센서의 제조

심준환 ,  김우정 ,  류인식 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

8개의 빔을 갖는 압저항형 실리콘 가속도 센서의 제조 ( Fabrication of Piezoresistive Silicon Acceleration Sensor with Eight Beams )

심준환 ,  김우정 ,  유인식 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

빔 위치변화에 따른 4빔 압저항형 실리콘 가속도 센서의 제조 및 특성비교 ( Fabrication and Characteristics Comparison of Piezoresistive Four Beam Silicon Accelerometer Based on Beam Location )

신현옥 ,  손승현 ,  최시영

전자공학회논문지-D

1999 .07

Silicon on Insulator 바이폴라 모드 전계 효과 트랜지스터의 고온 특성 분석

林茂燮 ,  金成東 ,  韓民九 외 1명

전기학회논문지

1998 .06

A Piezoresistive Silicon Accelerometer Using Porous Silicon Micromachining and Filp Chip Bonding

Jun Hwan Sim ,  Jong Hyun Lee

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Electrical and Photoluminescence Characteristics of Nanocrystalline Silicon-Oxygen Superlattice for Silicon on Insulator Application

Yong-Jin Seo

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2002 .10

Silicon on Insulator 시료의 재결정화법에 의한 보호막기술 ( Characterization and Capping Technique for Zone-Melting-Recrystallization of Silicon on Insulator Films )

윤석범 ,  김춘근 ,  김현수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

P⁺ 실리콘 박막을 이용한 폴리실리콘 압저항 가속도계의 제작 및 측정

양의혁 ,  정옥찬 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

범프 본딩된 압저항 실리콘 가속도센서의 제조 ( Fabrication of Bump Bonded Piezoresistive Silicon Accelerometer )

심준환 ,  이상호 ,  이종현

전자공학회논문지-D

1997 .07

실리콘 저항형 압력센서의 온도 보상에 관한 연구 ( A Study on Temperature Compensation of Silicon Piezoresistive Pressure Sensor )

최시영 ,  박상준 ,  김우정 외 2명

전자공학회논문지

1990 .04

새로운 구조를 갖는 실리콘 가속도계의 재평형 루프 설계

성상경 ,  이장규 ,  강태삼 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1997 .10

Electrostatic Discharge (ESD) and Failure Analysis : Models, Methodologies and Mechanisms for CMOS, Silicon On Insulator and Silicon Germanium Technologies

Steven H. Voldman

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2003 .09