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학술저널
저자정보
이상우 (국방과학연구소) 이형섭 (국방과학연구소) 유명종 (국방과학연구소) 김도형 (마이크로인피니티)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제64권 제9호
발행연도
2015.9
수록면
1,330 - 1,336 (7page)

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It is necessary to study on acoustic and vibratory response of a MEMS resonant accelerometer before applying to military applications. In this paper, we analyze why the resonant accelerometer reacts to an acoustic wave and a high frequency vibration. And we describe experimental results on acoustic and vibratory response of the accelerometer. The accelerometer consists of a proof mass and a dual ended tuning fork. It is a differential resonant accelerometer with arranging a pair of accelerometers. The mode shape was analyzed to find out the input mode frequency by using a FEM simulation. Some experiments regarding the acoustic noise was carried out by using a tweeter and a microphone in the anechoic room. Results showed that the accelerometer reacted to the acoustic wave and vibration which had the input mode frequency as we had expected. We showed experimentally not only that the susceptibility of the accelerometer to an acoustic wave was 70 dB but also that the effectiveness of applying an acoustic absorber and a metal case was 20 dB, respectively. Also, we could minimize the vibratory response property of the accelerometer by installing a IMU with a silicone rubber mount pad.
#Accelerometer #Acoustic wave #Inertial measurement unit #Vibration #MEMS

목차

Abstract
1. 서론
2. 공진형 MEMS 가속도계
3. 음향가진 반응 특성 시험
3. 결론
References

참고문헌 (9)

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[보고서] - Oliver J. Woodman / 2007 / An introduction to inertial navigation : 5 ~ 10 google schola [학술대회논문] - I. W. Scaysbrook / 2004 / A Miniature, Gun-Hard MEMS IMU for Guided Projectiles, Rockets and Missile / IEEE Position, Location and Navigation Symposium (PLANS) : 26 ~ 34 google schola [학술대회논문] - IMichael Perlmutter / 2012 / High-Performance, Low Cost Inertial MEMS : a Market in Motion / IEEE Position Location and Navigation Symposium (PLANS) : 225 ~ 229 google schola [학술지(정기간행물)] - IMarc S. Weinberg / 2006 / Error Sources in In-Plane Silicon Tuning-Fork MEMS Gyroscopes / JMEMS 15 : 479 ~ 491 google schola [학술대회논문] - IRalph E. Hopkins / 2000 / The Silicon Oscillating Accelerometer / AIAA Missile Sciences Conference : 44 ~ 51 google schola

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