분자 동역학을 이용한 점 결함 및 극 저 에너지 실리콘 이온 주입에 관한 연구

Jeong-Won Kang ,  Myung-Sik Son ,  Ki-Ryang Byun 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

분자 동역학을 이용한 점 결함 및 극 저 에너지 실리콘 이온 주입에 관한 연구 ( A Study on the Silicon Point Defects and Ultra-Low Energy Si Ion Implantation using Classical Molecular Dynamics )

Jeong Won Kang ,  Myung Sik Son ,  Ki Ryang Byun 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

Molecular Dynamics (MD) Simulation of Ultra-shallow Ion Implantation with a Modified Recoil Ion Approximation

Ohseob Kwon ,  Kidong Kim ,  Jihyun Seo 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

금속이온주입 특성 개선을 위한 분자동역학적 연구

양영준 ,  이치우 ,  김남경 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2009 .06

고전 분자 동 역학 시뮬레이션을 이용한 실리콘 격자 손상과 극 저 에너지 붕소 이온 주입에 관한 연구

姜正遠 ,  康裕硬 ,  孫明植 외 2명

전자공학회논문지-D

1998 .12

Diffusion / Ion Implantation

송성해

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

저 에너지 이온 주입의 개선을 위한 변형된 감속모드 이온 주입의 안정화 특성

박창준 ,  서용진 ,  김상용

전기전자재료학회논문지

2003 .01

GSI소자 개발을 위한 극 저 에너지 이온 주입에 대한 분자 역학 시뮬레이션 ( Molecular dynamics simulation of ultra-low energy ion implantation for GSI device technology development )

강정원 ,  손명식 ,  황호정

전자공학회논문지-D

1998 .03

낮은 에너지의 As₂^(+) 이온 주입을 이용한 얕은 n^(+)-p 접합을 가진 70nm NMOSFET의 제작 ( 70nm NMOSFET Fabrication with Ultra-shallow n+-p Junctions Using Low Energy As₂^(+) Implantations )

최병용 ,  성석강 ,  이용덕 외 1명

전자공학회논문지-SD

2001 .02

SOME NUMERICAL EXPERIMENTS USING MOLECULAR DYNAMICS SIMULATION

S.H. Pa ,  k ,  J.S. Lee

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2003 .05

A Study on Development of Advanced Environmental-Resistant Materials Using Metal Ion Processing

Kazuhisa Fujita ,  Hae-Ji Kim

Journal of Mechanical Science and Technology

2006 .10

국부 셀 격자 결함 모델을 사용한 극 저 에너지 이온 주입에 관한 연구 ( A Study on the Ultra-Low Energy Ion Implantation using Local Cell Damage Accumulation Model )

권오근 ,  강정원 ,  황호정

전자공학회논문지-D

1999 .07

이온주입 제어에 의한 재료특성 개선에 관한 연구

양영준 ,  이치우 ,  후지타 카즈히사

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2008 .11

Various surface modifications of polymer by ion implantation

김보영

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .04

이온주입 공정을 이용한 4H-SiC p-n Diode에 관한 시뮬레이션 연구

이재상 ,  방욱 ,  김상철 외 2명

전기전자재료학회논문지

2009 .01

Computer simulation study for the effect of potential energy on the behavior of grain boundary using Molecular dynamics

Dongyoul Choi ,  Hyunsoo Kim ,  Youngsuk Kim 외 2명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

1999 .10

이온주입에 의한 Al5202의 표면특성에 관한 연구

김남훈 ,  김남경 ,  김경균

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2006 .06

Controllability of Dopant Ion Number in Single Ion Implantation

Takehi ,  o Shinada ,  Takeshi Matsukawa 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

이온주입 특성 개선을 위한 분자동역학적 연구

양영준 ,  이치우

에너지공학

2009 .06