국부 셀 격자 결함 모델을 사용한 극 저 에너지 이온 주입에 관한 연구 ( A Study on the Ultra-Low Energy Ion Implantation using Local Cell Damage Accumulation Model )

권오근; 강정원; 황호정

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자료유형: 학술저널

저자정보: 권오근 강정원 황호정

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-D 전자공학회논문지 D편 제36권 제7호

발행연도: 1999.7

수록면: 9 - 16 (8page)

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