MOCVD에 의한 신기능소자 , 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

Mocvd 에 의한 신기능소자 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

MOCVD 공정에서 화학반응이 장치 내부 열유동에 미치는 영향

박신 ,  김경진 ,  곽호상

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2016 .11

In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구

최정환 ,  박상기 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

MOCVD 법에 의해 증착된 TiO2 박막의 결정구조 및 광학적 특성 ( Structural and Optical Properties of TiO2 Films Deposited by MOCVD )

장동훈 ,  강성준 ,  윤영섭

전자공학회논문지-D

1997 .06

MOCVD 법에 의한 Al 박막의 증착 속도 및 증착 두께 분포

정원영 ,  천성순 ,  유형준 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

MOCVD TaN 증착기구에 대한 연구

전규창 ,  김기범 ,  신현국

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

MOCVD ( 유기금속 화학 증착법 )

김무성

전자공학회지

1987 .02

MOCVD 방식으로 증착한 Cu 박막의 Electronmigration 특성

이정환 ,  이원석 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

Carrier gas$(N_2,\;He)$가 MOCVD TiN 형성에 미치는 영향에 관한 연구

김재호 ,  이재갑 ,  지충수 외 3명

한국재료학회지

1996 .01

공명 투과 구조의 MOCVD 성장 및 특성에 관한 연구 ( A Study on the MOCVD Growth and Characterization of Resonant Tunneling Structures )

유정호 ,  서광석

한국통신학회논문지

1993 .07

MOCVD법으로 증착된 구리 박막의 특성평가

표성규 ,  김헌도 ,  김삼동 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

증착시 산소 첨가가 MOCVD Pt 박막의 미세구조에 미치는 영향

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

MOCVD TiN FOR HIGH TEMPERATURE PROCESS

Lee ,  Sang-Hyeob ,  Kim 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

MOCVD법에 의한 PZT 박막의 증착 및 전기적 특성에 관한 연구

신주철 ,  이종명 ,  홍석경 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

MOCVD 방법으로 증착된 $SnO_2$ 박막의 CO 가스 감지 특성

박경희 ,  류현욱 ,  이우선 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

MOCVD법에 의한 AI 박막의 증착속도 분포에 대한 수치모사

정원영 ,  김도현

한국재료학회지

1996 .01

Co(CO) (Dicobalt Octacarbonyl) 전구체를 이용한 MOCVD Co 박막의 균일한 증착 특성 및 높은 순도에 관한 연구

이정길 ,  이재갑

한국재료학회지

2006 .01

후공정 처리에 의한 MOCVD TiN 막질 개선

오상헌 ,  김지용 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01