유기금속화학증착법 ( MOCVD : MetalOrganic Chemical Vapor Deposition )

김무성

대한전자공학회 단기강좌

1986 .01

MOCVD 법에 의한 Al 박막의 증착 속도 및 증착 두께 분포

정원영 ,  천성순 ,  유형준 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

MOCVD법에 의한 PZT 박막의 증착 및 전기적 특성에 관한 연구

신주철 ,  이종명 ,  홍석경 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

Plasma-Enhanced MOCVD법에 의해 MOCVD-Pt 위에 제조된 강 유전체 Sr${Bi}_{2}{Ta}_{2}{O}_{9}$ 박막의 특성

성낙진 ,  최은석 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

TiN Film Formation using Low-Pressure Metalorganic Chemical Vapor Deposition ( LP-MOCVD ) for ULSI Applications

J. S. Kim ,  S. W. Pa ,  k 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

MOCVD법에 의한 AI 박막의 증착속도 분포에 대한 수치모사

정원영 ,  김도현

한국재료학회지

1996 .01

MOCVD 공정을 이용한 GaAs 박막성장의 비선형 표면반응모델에 대한 연구

임익태

대한기계학회 논문집 B권

2008 .03

증착시 산소 첨가가 MOCVD Pt 박막의 미세구조에 미치는 영향

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

MOCVD 공정에서 화학반응이 장치 내부 열유동에 미치는 영향

박신 ,  김경진 ,  곽호상

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2016 .11

Mocvd 에 의한 신기능소자 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

MOCVD에 의한 신기능소자 , 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

MOCVD 법에 의해 증착된 TiO2 박막의 결정구조 및 광학적 특성 ( Structural and Optical Properties of TiO2 Films Deposited by MOCVD )

장동훈 ,  강성준 ,  윤영섭

전자공학회논문지-D

1997 .06

In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구

최정환 ,  박상기 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

MOCVD ( 유기금속 화학 증착법 )

김무성

전자공학회지

1987 .02

공명 투과 구조의 MOCVD 성장 및 특성에 관한 연구 ( A Study on the MOCVD Growth and Characterization of Resonant Tunneling Structures )

유정호 ,  서광석

한국통신학회논문지

1993 .07

PE-MOCVD 법에 의해 증착된 SiC 박막의 특성

박승준 ,  한전건

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

MOCVD법으로 다양한 기판위에 성장한 ZnO 박막의 광학적, 구조적 특성 평가

공보현 ,  김동찬 ,  한원석 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

MOCVD 방법으로 증착된 $SnO_2$ 박막의 CO 가스 감지 특성

박경희 ,  류현욱 ,  이우선 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

MOCVD법을 이용한 Sapphire(${Al}_{2}{O}_{2}$) 기판상의 GaN 선택적 성장특성 연구

이재인 ,  변동진 ,  금동화 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01