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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
홍광기 (군산대학교) 양원균 (군산대학교) 주정훈 (군산대학교) 이승호 (주성 엔지니어링) 이태완 (주성 엔지니어링)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제43권 제6호
발행연도
2010.12
수록면
304 - 308 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2010

백색 LED 증착용 MOCVD 장치에서 유도가열을 이용한 기판의 온도 균일도 향상에 관한 연구
홍광기 ,  양원균 ,  주정훈 외 2명 한국표면공학회지 2010.12 학술저널
백색 LED증착용 MOCVD 유도가열 장치에서 가스 inlet위치에 따른 기판의 온도 균일도 측정
홍광기 ,  양원균 ,  주정훈 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료
백색 LED증착용 MOCVD장치에서 유도가열을 이용한 기판의 온도 균일도 향상에 관한 연구
홍광기 ,  양원균 ,  전영생 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

2009

백색 LED증착용 MOCVD장치의 유도 가열 해석
홍광기 ,  주정훈 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009.10 학술대회자료

초록· 키워드

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Deposition temperature uniformity of GaN based MQW (multiple quantum well) layers is an important key which affects the wavelength uniformity of white LEDs. Temperature uniformity was assessed by infrared images for both cases of a static and a rotating susceptor. Rotating the susceptor at 2.5 rpm over the induction heater gave 4.3% of temperature non-uniformity. Temperature distribution of the graphite susceptor over the induction heater was numerically modelled and agreed with experimental results.
#Induction heating #Substrate temperature uniformity #Substrate rotating #CFD-ACE+ #Numerical modeling

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (2)

참고문헌 신청
신희연, 정성훈, 유지범, 서수정, 양철웅. Si(111) 기판 위에 MOCVD 법으로 성장시킨 GaN의 성장 특성에 관한 TEM 분석. 한국표면공학회지. 2003 dbpia 양원균, 주정훈, 김영우, 이봉주. 직류와 양극성 펄스직류에 의한 스퍼터링시 타겟 표면의 온도 분포와 그 영향. Applied Science and Convergence Technology. 2010 google schola

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