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Thermal Analysis of a Silicon Wafer during Plasma Etching
Heat Transfer Conference
1998 .08
High-Density Hollow Cathode Plasma Etching for Field Emission Display Applications
Journal of information display
2001 .01
실리콘 Cathode 열특성에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2013 .05
The study of silicon etching using the high density hollow cathode plasma system
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2003 .01
태양전지 제작을 위한 Hollow Cathode Plasma System의 실리콘 건식식각에 관한 연구
전기학회논문지 C
2004 .02
Plasma etching behavior of RE-Si-Al-O glass (RE: Y, La, Gd)
한국재료학회 학술발표대회
2010 .01
Surface Analysis of Fluorine-Plasma Etched Y-Si-Al-O-N Oxynitride Glasses
한국재료학회 학술발표대회
2009 .01
나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술
한국표면공학회지
2015 .12
Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation
대한전자공학회 학술대회
2017 .01
Dependence of cation ratio in Oxynitride Glasses on the plasma etching rate
한국재료학회 학술발표대회
2009 .01
Investigation of Plasma Etching Properties of Polymeric Materials Used for Packaging Application
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
Plasma and Reactive Ion Etching
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
Etching Effect of Solution Plasma on Gold Nanoparticles
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
Understanding of my etching of polycarbonate based on $O_2$ plasmas
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
$SiO_2$막의 습식식각 방법별 균일도 비교
반도체및디스플레이장비학회지
2006 .01
다층 RIE Electodes를 이용한 아크릴의 $O_2/N_2$ Plasma Etching
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
FE Analysis of Plasma Discharge and Sheath Characterization in Dry Etching Reactor
Journal of Electrical Engineering & Technology
2014 .01
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