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Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개
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High-Density Hollow Cathode Plasma Etching for Field Emission Display Applications
Journal of information display
2001 .01
실리콘 Cathode 열특성에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2013 .05
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대한전기학회 학술대회 논문집
1989 .07
The study of silicon etching using the high density hollow cathode plasma system
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2003 .01
Black Silicon Layer Formation using Radio-Frequency Multi Hollow Cathode Plasma System and Its Application in Solar Cell
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2003 .01
18 inch Wafer Plasma Etching Cathode 개발을 위한 구조해석
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2010 .11
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1998 .05
Measurement of Ar Temperature of Hollow Cathode Discharge Plasma
전기전자재료학회논문지
2005 .01
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2008 .01
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한국태양에너지학회 학술대회논문집
2002 .11
PLASMA-SULFNITRIDING USING HOLLOW CATHODE DISCHARGE
한국표면공학회지
1996 .10
Cold hollow cathode 방식의 고밀도 이온소스에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
할로우 캐소드 방전에 의한 금속소결부품의 질화처리에 관한 연구
열처리공학회지
2012 .01
박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .11
Plasma Etching에 의한 Silicon 태양전지 표면의 광 반사도 감소와 효율 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
Large Scale Application of Highly Efficient Inner Nitriding Technique by Hollow Cathode Discharge
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
실리콘 태양전지 최적설계에 관한 연구
전기학회논문지 C
2004 .04
Hollow Cathode Discharge의 특성과 이를 이용한 초경 절삭 공구의 TiN코팅
전기학회논문지
1991 .09
N+-P/P+ 다결정 실리콘 태양 전지의 제작 및 특성 ( Fabrication and Characteristics of N+-P/P+ Polycrystalline Silicon Solar Cell )
전자공학회지
1982 .05
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