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자료유형
학술대회자료
저자정보
양원균 (군산대학교) 최지성 (군산대학교) 도우리 (군산대학교) 주정훈 (군산대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2009.8
수록면
406 - 406 (1page)

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2010

Bipolar pulsed dc magnetron sputtering에서 Al:ZnO 막 증착시 Ar 유동에 의한 효과
양원균 ,  주정훈 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2010.11 학술대회자료
In-line sputtering system에서 Al:ZnO 막의 대면적 증착시 가스 유동의 영향
양원균 ,  주정훈 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

2009

Bipolar pulsed DC magnetron sputtering에서 동적증착에 의한 zigzagged structure의 Al:ZnO 박막 특성
양원균 ,  최지성 ,  도우리 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료
Bipolar pulsed DC magnetron sputtering에서 정적 증착과 동적 증착에 의한 박막특성 변화
양원균 ,  주정훈 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009.05 학술대회자료

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