DC 마그네트론 스퍼터링법에 의한 대면적 투명전도성 ZnO(Al)와 ZnO(AlGa) 박막제조 및 물리적 특성 연구

손영호 ,  최승훈 ,  박중진 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2013 .05

원자층증착법으로 ZnO:Al과 Al₂O₃를 코팅한 ZnO 나노막대의 광학적 특성

신용호 ,  이수연 ,  김용민

Applied Science and Convergence Technology

2010 .09

The effect of ZnO buffer layer on the structural and electrical properties in the ZnO:(Al,P) thin films by the RF-magnetron sputtering

김창훈 ,  신승학 ,  이준형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

PC 기판에 증착한 ZnO:Al 박막의 특성

조범진 ,  금민종 ,  김경환

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

RF Sputtering 방법으로 증착시킨 ZnO:Ag 박막의 광학적 특성 연구

안병곤 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

후열처리에 따른 스퍼터된 ZnO : Al 박막의 전기적, 광학적 특성

김덕규 ,  김홍배

Applied Science and Convergence Technology

2013 .01

대향타겟식 스퍼터법에 의한 ZnO : Al 박막의 제작

금민종 ,  양진석 ,  손인환 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

RF Magnteron Sputtering법으로 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성

정영의 ,  조창우 ,  박성균

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

The deposition temperature effects of ZnO buffer layers on the properties of ZnO:(Al,P) thin films by RF-magnetron sputtering

신승학 ,  이준형 ,  허영우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Structural and Electrical Properties of a-axis ZnO:Al Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering

봉성재 ,  김선보 ,  안시현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Bipolar pulsed DC magnetron sputtering에서 동적증착에 의한 zigzagged structure의 Al:ZnO 박막 특성

양원균 ,  최지성 ,  도우리 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Unbalanced B-field 인가에 따른 HIPIMS (high power impulse magnetron sputtering) 증착 Al:ZnO 박막 특성 연구

박동희 ,  양정도 ,  최지원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Annealing effects on the characteristics of Sputtered ZnO films for ZnO-based thin-film transistors

Yong Seob Pa ,  k ,  Han-Ki Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

The Low Temperature Synthesis of ZnO Thin Films by Facing Target Sputtering

송두훈 ,  김연준 ,  최윤석 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

RF-Magnetron sputtering법을 이용한 ZnO buffer layer가 ZnO:(Al,P) 박막의 미세구조에 미치는 영향

신승학 ,  김종기 ,  이준형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

증착 환경 변화에 따른 인이 첨가된 ZnO 박막의 물성연구

정영의 ,  이승환 ,  황선민 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

DC magnetron sputtering을 이용하여 증착한 ZnO 기반의 박막 트랜지스터의 특성 및 stability 향상을 위한 후열처리

김경택 ,  문연건 ,  김웅선 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

ZnO 분말 타겟을 스퍼터링하여 Glass 기판위에 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성

선정호 ,  강현철

Applied Science and Convergence Technology

2009 .09

Ion Sputtering방법에 의한 glass기판위의 ZnO박막의 물성 특성

박용욱 ,  최성창 ,  최원국 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02