AZO 박막을 위한 내부삽입형 ICP 보조 Bipolar Pulsed DC Magnetron Sputtering의 플라즈마 특성 분석

양원균; 주정훈

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 양원균 주정훈

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제32회 학술대회 초록집

발행연도: 2007.2

수록면: 103 - 103 (1page)

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Wonkyun Yang

소속기관 군산대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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주정훈

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