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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.11
- 수록면
- 108 - 109 (2page)
이용수
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2010
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태양전지용 투명전도막에 사용되는 Al-doped ZnO (AZO) 막이 양산용 in-line type sputtering system에서 400 × 400 ㎟의 기판에서 bipolar pulsed dc magnetron sputtering으로 증착하였다. 배기구 ... 전체 초록 보기
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