Unbalanced B-field 인가에 따른 HIPIMS (high power impulse magnetron sputtering) 증착 Al:ZnO 박막 특성 연구

박동희; 양정도; 최지원; 최원국

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저자정보: 박동희 (한국과학기술연구원) 양정도 (한국과학기술연구원) 최지원 (한국과학기술연구원) 최원국 (한국과학기술연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2010.2

수록면: 193 - 193 (1page)

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