RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성

김종욱 ,  김민석 ,  이인환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 RF 파워 및 공정 압력이 미치는 영향

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명박막트랜지스터 특성 연구

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

열처리 효과가 ZnO 박막의 특성 변화에 미치는 영향 연구

이초은 ,  심은희 ,  고지현 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

RF - Magnetron co - sputtering법으로 제작한 ZnO : Fe 박막의 강자성 원인연구

유장현 ,  권순주

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2005 .12

RF Magnteron Sputtering법으로 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성

정영의 ,  조창우 ,  박성균

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

열처리된 ZnO 박막의 광학적 특성에 관한 연구

심은희 ,  이초은 ,  고지현 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Structural and Electrical Properties of a-axis ZnO:Al Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering

봉성재 ,  김선보 ,  안시현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

RF-Magnetron Sputtering법에 의해 성막된 Ga₂O₃가 혼합된 ZnO박막의 전기적 및 광학적 특성

김미선 ,  배강 ,  손선영 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

RF Sputtering 방법으로 증착시킨 ZnO:Ag 박막의 광학적 특성 연구

안병곤 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

The deposition temperature effects of ZnO buffer layers on the properties of ZnO:(Al,P) thin films by RF-magnetron sputtering

신승학 ,  이준형 ,  허영우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

RF-Magnetron sputtering법을 이용한 ZnO buffer layer가 ZnO:(Al,P) 박막의 미세구조에 미치는 영향

신승학 ,  김종기 ,  이준형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn²⁺의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장

박재홍 ,  이성훈 ,  하성진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Properties of ZnO:Ga thin films deposited by RF magnetron sputtering under various RF power

Deok Kyu Kim ,  Hong Bae Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .11

The effect of ZnO buffer layer on the structural and electrical properties in the ZnO:(Al,P) thin films by the RF-magnetron sputtering

김창훈 ,  신승학 ,  이준형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Rf magnetron sputtered Co79Cr₂₁ 박막의 자기이방성

백종성 ,  김약연 ,  임우영 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1991 .05

Al-doped ZnO thin film process optimization on glass with RF magnetron sputtering method

노영수 ,  이상엽 ,  최원국

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

N₂ 분위기에서 RF Magnetron Sputtering을 이용하여 제작된 TiAlNX박막의 열처리 온도에 따른 박막 특성 연구

권지선 ,  최재웅 ,  이창현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02