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저자정보
오승주 (한양대학교) 이효창 (한양대학교) 이정규 (한양대학교) 이영광 (한양대학교) 정진욱 (한양대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
440 - 440 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2013

극판 전극이 인가된 유도 결합 플라즈마에서 유도 결합 전기장과 용량성 결합 전기장에 관한 전자 가열 연구
오승주 ,  이효창 ,  정진욱 한국진공학회 학술발표회초록집 2013.02 학술대회자료

2010

유도 결합 Ar/SF6 혼합 기체 방전에서의 전자 에너지 분포 측정을 통한 플라즈마 변수 연구
오승주 ,  이효창 ,  이정규 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

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