RF방전에서의 Micro-arcing에 의한 플라즈마 변화

김용훈; 서상훈; 장홍영

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저자정보: 김용훈 (한국과학기술원) 서상훈 (한국과학기술원) 장홍영 (한국과학기술원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제35회 하계정기학술대회 초록집

발행연도: 2008.8

수록면: 209 - 209 (1page)

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